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四探針電阻測試儀其保養是尤為重要的

點擊次數：128 發布時間：2025-10-22

　　四探針電阻測試儀是一種用于測量物質電阻率、電阻及方塊電阻的專業設備，廣泛應用于半導體材料、薄層材料檢測以及化工、建材等行業。它基于四探針接觸法設計，通過外側兩探針施加穩定電流，內側兩探針測量電勢差，實現電流-電壓分離測量，有效消除接觸電阻和引線電阻的干擾，確保測量結果的高精度。

　　該儀器適配多種樣品形態，包括塊狀、棒狀及薄膜材料，測量范圍覆蓋電阻率10??～10?Ω·cm，標準不確定度≤2%。其硬件配置先進，采用液晶顯示屏與自動溫度補償系統，二代機型配備自動傳感測試架，減少探針與樣品接觸損傷。內置計算機可自動調整系數，通過接口實現數據存儲與導出，提升操作便捷性。

　　四探針電阻測試儀的保養方法：

　　一、日常保養（每次使用前后）

　　清潔探針

　　目的：去除探針尖d的氧化物、油污、灰塵或殘留樣品，防止接觸不良和測量誤差。

　　方法：

　　使用無水乙醇（分析純）或異丙醇浸濕無塵布或棉簽，輕輕擦拭四個探針的尖d。

　　對于頑固污染物，可使用極細的研磨紙（如金相砂紙，粒度≥1000#）極其輕微地打磨探針尖d，然后用酒精徹d清潔。（此操作需謹慎，避免改變探針形狀或間距）

　　嚴禁使用硬物刮擦或腐蝕性溶劑。

　　清潔樣品臺

　　用干凈的無塵布或蘸有無水乙醇的棉簽擦拭樣品臺表面，確保無灰塵、油漬或導電殘留物，避免影響測量或造成短路。

　　檢查探針狀態

　　目視檢查四個探針是否筆直、無彎曲、無斷裂。

　　確認探針尖d銳利但不過分鋒利（避免劃傷樣品），無嚴重磨損或變形。

　　檢查探針間距是否一致（可用放大鏡觀察）。

　　檢查加載機構

　　手動升降探針數次，感受是否有卡頓或松動。

　　確保恒力彈簧或壓力調節裝置工作正常，探針能平穩下落并保持穩定接觸壓力。

　　二、定期保養（每周/每月）

　　深度清潔

　　斷開電源，用壓縮空氣（低氣壓）吹掃探針支架、樣品臺及周圍區域，清除積聚的細小顆粒。

　　檢查并清潔探針與線纜的連接點，確保接觸良好。

　　校準驗證

　　使用標準樣片（已知電阻率或方塊電阻的標準硅片或薄膜電阻片）進行測量。

　　將測量結果與標準值對比，評估儀器的準確性和重復性。

　　如果偏差超出允許范圍（如±5%），需要進行校準或維修。

　　檢查線纜與接口

　　檢查所有連接線纜（探針線、電源線）是否有破損、擠壓或接觸不良。

　　確保各接口（如USB、RS232）清潔、牢固。

　　三、長期/專業保養（每季度/半年/年度）

　　探針更換

　　當探針出現嚴重磨損、彎曲、斷裂或無法通過清潔恢復性能時，必須更換。

　　務必使用原廠或規格完q匹配的探針，確保材質、直徑、長度和間距一致。

　　更換后需重新進行校準驗證。

　　機械結構維護

　　對升降導軌、軸承等運動部件進行潤滑（使用專用精密儀器潤滑油，避免過量）。

　　檢查并緊固所有螺絲和固定件，防止松動影響探針垂直度。

　　電氣系統檢查

　　由專業技術人員檢查恒流源的穩定性、電壓表的精度以及內部電路板狀態。

　　必要時進行專業校準（traceable calibration），確保符合計量標準。

　　軟件與固件更新

　　檢查制造商是否有發布新的控制軟件或固件更新，以提升性能或修復已知問題。

　　四、通用注意事項與存放

　　輕拿輕放：避免劇烈震動或撞擊，尤其是探針部分非常脆弱。

　　環境要求：

　　存放和使用環境應干燥、清潔、無腐蝕性氣體。

　　避免陽光直射和溫度劇烈變化。

　　理想溫濕度：室溫（20-25°C），相對濕度<60%。

　　防塵保護：

　　不使用時，用防塵罩覆蓋儀器，或存放在專用儀器柜中。

　　可在儀器內放置干燥劑，防潮。

　　正確操作：

　　測量時確保樣品表面平整、清潔、干燥。

　　探針應垂直下落，避免側向受力。

　　避免在通電狀態下插拔探針線纜。

　　記錄保養日志：

　　建立設備保養檔案，記錄每次清潔、校準、更換部件的日期和內容。

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